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发明名称
摘要
申请公布号 JP2848305(B2) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 JP19960005900 申请日期 1996.01.17
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HATSUTORI SHUJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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