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发明名称 MITTELS MOCVD HERGESTELLTE DÜNNE FERROELEKTRISCHE SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE69318976(T2) 申请公布日期 1998.12.17
申请号 DE19936018976T 申请日期 1993.02.26
申请人 VIRGINIA TECH INTELLECTUAL PROPERTIES INC., BLACKSBURG, VA., US;SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 DESU, SESHU B., BLACKSBURG, VA 24060, US;PENG, CHIEN-HSIUNG, BLACKSBURG, VA 24060, US
分类号 C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/18;C23C16/46 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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