发明名称 THICKNESS MEASURING METHOD OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH10313030(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970119740 申请日期 1997.05.09
申请人 SONY CORP 发明人 INAKANAKA HIROSHI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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