发明名称 Shield and cover for target of sputter coating apparatus
摘要
申请公布号 USD401251(S1) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 US00/082617 申请日期 1998.01.27
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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