| 发明名称 |
Method for polishing workpieces and apparatus therefor |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0807492(A3) |
申请公布日期 |
1998.11.04 |
| 申请号 |
EP19970108027 |
申请日期 |
1997.05.16 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
SHIMIZU, NOBURU;KIMURA, NORIO |
| 分类号 |
B24B27/00;B24B37/04;B24B37/07;B24B37/10;B24B37/11;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B27/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
