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发明名称 VACUUM DEPOSITION FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10287969(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970099171 申请日期 1997.04.16
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 FUJII HIDEO;ARAKI KIYOSHI
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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