| 发明名称 |
Resist material and process for use |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1003127(A1) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
HK19980102221 |
申请日期 |
1998.03.17 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY;AT & T BELL LABORATORIES |
发明人 |
RAYMOND HERTLER WALTER;YAO SOGAH DOTSEVI;NEWTON TAYLOR GARY |
| 分类号 |
C08F220/00;C08F220/10;C08F220/18;C08F220/28;C08L33/04;C08L33/06;C08L33/14;C08L53/00;C08L101/00;C08L101/08;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F |
主分类号 |
C08F220/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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