| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 노광 장치에 관한 것으로, 종래에는 렌즈 냉각기를 지지하는 프레임과 본체에 심을 끼우거나 웨이퍼 척 상부에 세라믹 핀을 장착하여 노광되는 웨이퍼의 수평도를 보정하였기 때문에 정확한 보정이 불가능하고 웨이퍼의 수평도가 맞지 않은 상태에서 웨이퍼의 노광을 실시하게 되므로 불량 발생율을 높이게 되고 생산성에 큰 차질이 생기는 문제점이 있었던 바, 본 고안은 웨이퍼의 수평도를 검사하도록 위상 검출계가 장착됨으로써, 노광 공정을 수행하기 전에 웨이퍼의 수평도에 대한 검사를 하고 이에 대한 보정을 자동적으로 실시하여 웨이퍼의 불량률을 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.</p> |
