웨이퍼 카세트

摘要

본 고안은 웨이퍼가 삽입되는 슬롯을 형성하는 격벽을 하우징의 내부 양 측면에서 바닥면까지 연장 형성하여 비정상적으로 양 슬롯들에 삽입된 웨이퍼와 하나의 슬롯에 정상적으로 삽입된 웨이퍼간에 높이차이를 발생시킬 수 있는 웨이퍼 카세트를 제공한다.