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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SCANNING EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH10256150(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970082314 申请日期 1997.03.14
申请人 NIKON CORP 发明人 KANEKO KENICHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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