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发明名称 Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Mikrovorrichtung unter Verwendung desselben
摘要
申请公布号 DE69412548(D1) 申请公布日期 1998.09.24
申请号 DE19946012548 申请日期 1994.06.17
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIOZAWA, TAKAHISA, C/O CANAON K. K., OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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