| 发明名称 |
METHOD FOR SELECTIVE FILING OF CONDUCTIVE OBJECT BY PVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10223566(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970369912 |
申请日期 |
1997.12.16 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
SESHADORI RAMASUWAMI;NULMAN JAIM |
| 分类号 |
C23C14/04;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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