发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10214585(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970003716 申请日期 1997.01.13
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 NAKAZONO RYUICHI
分类号 H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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