| 发明名称 |
MANUFACTURE OF PROVE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10206462(A) |
申请公布日期 |
1998.08.07 |
| 申请号 |
JP19970010666 |
申请日期 |
1997.01.23 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORP |
发明人 |
MORI YOSHIHISA;INOUE YASUSHI;ODA TAKASHI;MAEDA MASAKO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/06;H01L21/60;H01L21/66;H05K3/06;H05K3/24;H05K3/40;(IPC1-7):G01R1/06 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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