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经营范围
发明名称 WAFER CLAMP
摘要
申请公布号 KR0119299(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19940036954U 申请日期 1994.12.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KWAK, BYUNG-DO;KANG, JUNG-TAE;KIM, SEUNG-HEE
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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