发明名称
摘要
申请公布号 JP2778303(B2) 申请公布日期 1998.07.23
申请号 JP19910234207 申请日期 1991.09.13
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 KITAMURA YOSHIHIRO
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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