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经营范围
发明名称
ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH10189428(A)
申请公布日期
1998.07.21
申请号
JP19960355200
申请日期
1996.12.20
申请人
NIKON CORP
发明人
YAMAMOTO NORIAKI
分类号
G02B19/00;F21V8/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G02B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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