发明名称 A METHOD FORMING CONTACTHOLE SPACE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0140650(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940033489 申请日期 1994.12.09
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 YEUM, SANG-HYEON;KI, CHUNG-HO;CHU, YEON-SU
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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