发明名称 Positiv arbeitende lichtempfindliche Zusammensetzung
摘要
申请公布号 DE3842896(C2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19883842896 申请日期 1988.12.20
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TOKUTAKE, NOBUO, KANAGAWA, JP;TAKAHASHI, KOICHI, SAGAMIHARA, KANAGAWA, JP;SATOH, YOSHIYUKI, MACHIDA, TOKIO/TOKYO, JP;KOHARA, HIDEKATSU, CHIGASAKI, KANAGAWA, JP;NAKAYAMA, TOSHIMASA, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP
分类号 C08L61/08;G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/039;H01L21/312 主分类号 C08L61/08
代理机构 代理人
主权项
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