发明名称 CIRCUIT INSPECTION DEVICE AND PROBE DRIVING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10153622(A) 申请公布日期 1998.06.09
申请号 JP19960315153 申请日期 1996.11.26
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 KUBODERA TADASHI
分类号 G01R1/06;G01R31/02;G01R31/28;G02F1/1333;(IPC1-7):G01R1/06;G02F1/133 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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