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发明名称
摘要
申请公布号 JP2744356(B2) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19910063793 申请日期 1991.03.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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