| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10107280(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960260439 |
申请日期 |
1996.10.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
PETER M LEE;YOKOMIZO KOICHI;NIIMI TOSHIO;OTAKA NAOMI;KATO MASATAKA;KIMURA SHINICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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