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发明名称
ANORDNUNG ZUR HANDHABUNG VON INTEGRIERTEN BAUSTEINEN
摘要
申请公布号
DD285855(A5)
申请公布日期
1991.01.03
申请号
DD19890330653
申请日期
1989.07.11
申请人
VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DD
发明人
WOLDT,GREGOR,DD;MARX,STEFFEN,DD;PASCHEK,JOCHEN,DD
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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