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发明名称 APPARATUS FOR MANAGING A STRIPPING SOLUTION OF RESIST
摘要
申请公布号 KR0131698(B1) 申请公布日期 1998.04.13
申请号 KR19940037650 申请日期 1994.12.28
申请人 HIRAMA RIKA KENKYUJO KK.;NAGASE SANKYO KK. 发明人 NAKAGAWA, TOSHIMOTO;TSUKADA, KOUZO;OGAWA, SHU;SATO, YOSHITAKA;SHIAU, SINICHIRO
分类号 B08B3/04;B08B3/08;G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/40;G03F7/00;G03F7/26;H01L21/027 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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