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发明名称 FAST MAGNETIC SCANNING OF HEAVY ION BEAMS
摘要
申请公布号 EP0760159(A4) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19950921567 申请日期 1995.06.02
申请人 NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED 发明人 GUERRA, MICHAEL, A.;GLAVISH, HILTON, F.;KAWAI, TADASHI;NAITO, MASAO;NAGAI, NOBUO
分类号 H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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