粉尘清除器

摘要

本实用新型公开了一种适用于半导体材料制备中清除有毒的砷、磷粉末的粉尘清除器,包括粉尘导管、法兰盘、孔板、过滤室、袋状过滤膜、出口导管和离心式抽风机。含有粉尘的气体在离心式抽风机的作用下,通过粉尘导管和孔板进入袋状过滤膜的袋口,再从过滤膜穿过,从而使粉尘吸着在过滤膜上。它能有效地清除半导体单晶炉中的砷、磷粉末,且过滤膜便于更换。

主权项

1.一种粉尘清除器，包含有粉尘导管、过滤膜、过滤室、出口导管、和离心式抽风机，其特征在于，它还包含有法兰盘和孔板，而且过滤膜是袋状的过滤膜；过滤室的出口通过出口导管与离心式抽风机相连，过滤室的入口通过法兰盘与粉尘导管相接，孔板压嵌于法兰盘和过滤室入口边缘之间，所述袋状过滤膜置于过滤室中，袋口张开压嵌于孔板边缘和过滤室入口边缘之间。