发明名称 CLEANING PAD/ROLLER ASSEMBLY
摘要
申请公布号 JPH1083979(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19970165682 申请日期 1997.06.23
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 STEVENS JR LEONARD CORBETT
分类号 B08B1/04;B05C1/02;B08B1/02;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
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