| 发明名称 |
CONSTITUENT OF PEDESTAL PERIPHERY IN GAS CHANNEL IN CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1070088(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19970188357 |
申请日期 |
1997.07.14 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
ZHAO JUN;SINHA ASHOK;TEPMAN AVI;CHANG MEI;LUO LEE;SCHRIEBER ALEX;SAJOTO TALEX;WOLFF STEFAN;DORNFEST CHARLES;DANEK MICHAEL |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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