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发明名称
摘要
申请公布号 JP2723857(B2) 申请公布日期 1998.03.09
申请号 JP19950266924 申请日期 1995.10.16
申请人 KYUSHU NIPPON DENKI KK 发明人 ORITA SUSUMU
分类号 C23C14/35;C23C14/54;G01B11/22;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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