发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH1058440(A) 申请公布日期 1998.03.03
申请号 JP19960237177 申请日期 1996.08.20
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 KANAZAWA SHUICHI;HAMADA KENJI;SUZUKI KAZUHIKO
分类号 B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/04 主分类号 B28D5/04
代理机构 代理人
主权项
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