发明名称 Verfahren zur Herstellung einer optischen Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69128097(T2) 申请公布日期 1998.02.26
申请号 DE1991628097T 申请日期 1991.08.26
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SASAKI, TATSUYA, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP;MITO, IKUO, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP;KATOH, TOMOAKI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP
分类号 H01L33/00;H01S3/1055;H01S5/026;H01S5/042;H01S5/0625;H01S5/12;H01S5/16;H01S5/20;H01S5/227;H01S5/343;(IPC1-7):H01S3/19;H01S3/025;H01S3/103 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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