发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1050617(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
申请号 |
JP19960201401 |
申请日期 |
1996.07.31 |
申请人 |
SONY CORP;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
FUJITA SHIGERU;FURUNO MAKOTO;ITAYA HIDEJI |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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