发明名称 |
PREBONDING CAVITY AIR BRIDGE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1050826(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
申请号 |
JP19970126779 |
申请日期 |
1997.05.16 |
申请人 |
HARRIS CORP |
发明人 |
DELGADO JOSE A;GAUL STEPHEN J |
分类号 |
H01L23/522;H01L21/20;H01L21/762;H01L21/768;H01L23/482;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L23/522 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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