发明名称 PREBONDING CAVITY AIR BRIDGE
摘要
申请公布号 JPH1050826(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19970126779 申请日期 1997.05.16
申请人 HARRIS CORP 发明人 DELGADO JOSE A;GAUL STEPHEN J
分类号 H01L23/522;H01L21/20;H01L21/762;H01L21/768;H01L23/482;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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