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发明名称 HIGH FREQUENCY SPUTTER EQUIPMENT AND METHOD FOR FORMING THIN FILM OF COMPOSITE OXIDE
摘要
申请公布号 JPH09302464(A) 申请公布日期 1997.11.25
申请号 JP19960116490 申请日期 1996.05.10
申请人 ROHM CO LTD 发明人 OZAWA TAKANORI
分类号 C23C14/34;C23C14/44;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/44 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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