| 发明名称 |
METHOD OF PROCESSING, PROCESSING DEVICE, METHOD OF CVD FILM FORMING AND DEVICE FOR IT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09275077(A) |
申请公布日期 |
1997.10.21 |
| 申请号 |
JP19960083456 |
申请日期 |
1996.04.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKAI TOSHIHIKO;NISHITANI EISUKE;ARAI TOSHIYUKI;SUZUKI MIWAKO |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
