发明名称 气体供应系统用的微粒采样系统
摘要 本发明系关于一种徵粒采样系统,此系统包括一个限流器,其系安放在排气口和分析仪探针之间的导管中,且系用来限制导管中的流动情形,以使得样品气体在计数器探针处维持过压,接着其再迫使气体样品进入徵粒分析仪中。此系统还包括一个用来存放可用于徵粒分析仪之工作流体的储存槽,以及一个加压的气体源,其系用来加压储存槽,以使得工作流体能对抗分析样品气体的压力,并且能提供分析仪所需的洗涤气体。
申请公布号 TW290639 申请公布日期 1996.11.11
申请号 TW085104117 申请日期 1996.04.09
申请人 普拉塞尔科技股份有限公司 发明人 何力士克力福特丹明;亚瑟爱德华荷马;马克里欧纳德马泽斯基
分类号 G01N1/22;H01L21/02 主分类号 G01N1/22
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1. 一种自气体进料流中获得气体样品及测量其中 所夹带 微粒物质之特性的系统,该系统包括: 与该加压气体进料流相连通的探针装置,其用来使 得气体 样品与该气体进料流等动力,并且使得该气体样品 输出之 压力大于大气压力; 用于使该探针装置与排气口相连接的导管装置; 一微粒分析仪; 一与该导管装置相连通的分析仪探针,其用来将该 气体样 品的分析样品送至该微粒分析仪;及 位于该排气口和该分析仪探针之间的该导管装置 中的流动 限制装置,其系用来限制该气体样品在该导管装置 中的流 动,以及用来使该气体样品在该分析仪探针处维持 过压, 而迫使至少有一部分的该气体样品进入该微粒分 析仪中。2. 如申请专利范围第1项之系统,其中该 分析仪探针系位 于该导管装置之中,并且使得样品气体等动力流动 至该微 粒分析仪。3. 如申请专利范围第1项之系统,其中 该流动限制装置为 可调整的,并且可改变过压。4. 如申请专利范围第 1项之系统,进而包括: 一自该微粒分析仪连接至该排气口的样品气体排 气导管, 其系位于该流动限制装置的下游处。5. 如申请专 利范围第1项之系统,进而包括: 一用来存放工作流体的储存槽; 一与该微粒计数器相连接的加压气体源; 与该储存槽与该微粒计数器连接的导管装置;以及 与该加压气体源和该储存槽连接的减压装置,用来 使该加 压气体在较低的压力下进料至该储存槽,该减压不 少于该 微粒分析仪中之气体样品的过压。6. 如申请专利 范围第5项之系统,进而包括: 安全阀装置,其出口处与排气口相连接,并且具有 来自该 减压装置和该储存槽的输入物质,并且在该加压气 体的压 力超过某安全程度时操作,以使得该加压气体排出 。7. 如申请专利范围第6项之系统,进而包括: 流动限制装置,其系与该减压装置和该安全阀装置 相连接 ,以在该加压气体的压力超过该安全程度度,限制 气体的 流动。8. 如申请专利范围第1项之系统,其中该加 压气体进料流 包括一种反应性气体。9. 如申请专利范围第1项之 系统,进而包括: 一用来存放工作流体的储存槽; 连接该储存槽到该微粒分析仪的第一个导管装置; 第二个导管装置,其入口位于该流动限制装置的上 游,并 且其出口与该储存槽中的顶端空间相连接,以将该 过压样 品气体供应至该储存槽,用来加压该工作流体。10. 如申请专利范围第1项之系统,其中该流动限制装 置 将该气体样品的过压维持在超过大气压力2到4磅/ 平方英 寸的范围内。图示简单说明: 图1为本发明较佳体系之示意图。 图2为提供工作流体至图1系统所使用之微粒计数 器中的较 佳系统之示意图。 图3为提供工作流体至图1之微粒计数器中之系统 的第二种
地址 美国