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发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIROSOCHI
摘要
申请公布号 JP2656493(B2) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 JP19870147062 申请日期 1987.06.15
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI HARAMACHI DENSHI KOGYO KK;HITACHI ENJINIARINGU KK 发明人 KARYA TADAAKI;KAWAMOTO KOJI;KURITA SHINICHI;YUZAWA NOBORU;OKUTSU MITSUHIKO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/823 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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