发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09246376(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
申请号 |
JP19960050178 |
申请日期 |
1996.03.07 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
MITARAI KAZUKO;TANABE SHINICHI;HORIUCHI MITSUAKI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|