发明名称 FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH09241847(A) 申请公布日期 1997.09.16
申请号 JP19960052885 申请日期 1996.03.11
申请人 TOKYO GAS CO LTD 发明人 OKAJIMA YUICHIRO;KIKUCHI HIROSHI;IDE TAKAHIRO;NAKAMURA KENICHI
分类号 G01N27/12;C23C16/04;C23C16/46;(IPC1-7):C23C16/04 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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