| 发明名称 |
PATTERN INSPECTION DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09222312(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960052539 |
申请日期 |
1996.02.16 |
| 申请人 |
MITSUI MINING & SMELTING CO LTD |
发明人 |
MORIYA KAZUO |
| 分类号 |
G01B11/24;G06T7/00;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
