发明名称 HANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2641998(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19910081511 申请日期 1991.03.20
申请人 ROOMU KK 发明人 HIGUCHI YASUYUKI
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/60;H01L21/8222;H01L27/082;(IPC1-7):H01L29/43;H01L21/822 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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