| 发明名称 | 用于微电子结构的酚醛清漆聚合物的平面化薄膜 | ||
| 摘要 | 一种形成当加热时仍然粘着在基片上的平面化薄膜的改进方法，该方法包括：首先将包含一种低分子量酚醛清漆树脂、一种选自非氟化烃、氟化烃和其组合的表面活性剂以及一种任选的有机溶剂的聚合物溶液施加在基片上，然后加热该基片。 | ||
| 申请公布号 | CN1156421A | 申请公布日期 | 1997.08.06 |
| 申请号 | CN95194786.9 | 申请日期 | 1995.07.05 |
| 申请人 | 联合讯号公司 | 发明人 | J·S·德雷格 |
| 分类号 | B05D1/40;H01L21/312 | 主分类号 | B05D1/40 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 邰红;吴大建 |
| 主权项 | 1.一种于基片上形成一层连续平面化薄膜的、当加热时该薄膜仍然粘附在该基片上的方法，其改进包括：(a)将一种聚合物溶液施加在所说的基片表面上，该溶液包含一种低分子量酚醛清漆树脂和一种选自非氟化烃、氟化烃及其组合的表面活性剂；和(b)加热该溶液和基片，以便在该表面上形成一层连续平面化薄膜。 | ||
| 地址 | 美国新泽西州 | ||