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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09195054(A) 申请公布日期 1997.07.29
申请号 JP19960290567 申请日期 1996.10.31
申请人 SONY CORP 发明人 HONJO TEIJI;MIYAI SEIICHI;SOTOZAKI MINEHIRO;AMANO SHUNJI;HAYASHI HIROSHI
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C30B29/38;C30B30/02;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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