| 发明名称 | 制备三氯硅烷的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种通过在流化床反应器中还原四氯硅烷来制备三氯硅烷的方法。该方法包括以下步骤：a)在反应器中建立一个硅颗粒的流化床；b)将微波辐射直接导入反应器中，加热硅颗粒使其温度达到300-1100℃；c)使含有四氯硅烷和氢的反应气通过流化床，使反应气与硅颗粒反应，形成含有三氯硅烷的产物气，和d)由反应器中取出产物气。 | ||
| 申请公布号 | CN1153138A | 申请公布日期 | 1997.07.02 |
| 申请号 | CN96120113.4 | 申请日期 | 1996.09.23 |
| 申请人 | 瓦克化学有限公司 | 发明人 | 鲁道尔夫·格里斯哈默;弗兰茨·科普尔;弗兰茨·施赖德 |
| 分类号 | C01B33/107 | 主分类号 | C01B33/107 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 甘玲 |
| 主权项 | 1，通过在流化床反应器中还原四氯硅烷来制备三氯硅烷的方法，该方法包括：a)在反应器中建立一个硅颗粒的流化床；b)将微波辐射直接导入反应器中，加热硅颗粒使其温度达到300-110℃；c)使含有四氯硅烷和氢的反应气通过流化床，使反应气与硅颗粒反应，形成含有三氯硅烷的产物气，和d)由反应器中取出产物气。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||