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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09172168(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950330744 申请日期 1995.12.19
申请人 NEC CORP 发明人 HAMADA HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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