发明名称 |
ELECTRIC CHARGE CONVERSION CELL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09171777(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
申请号 |
JP19960266632 |
申请日期 |
1996.09.18 |
申请人 |
JIINASU INC |
发明人 |
MAABIN RAFUONTAIN;NOBUHIRO TOKORO;BIKUTAA KUOTSUTORIINI;DANIERU BISONETSUTO;TAKAO SAKASE |
分类号 |
C23C14/48;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/20 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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