发明名称 ELECTRIC CHARGE CONVERSION CELL
摘要
申请公布号 JPH09171777(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19960266632 申请日期 1996.09.18
申请人 JIINASU INC 发明人 MAABIN RAFUONTAIN;NOBUHIRO TOKORO;BIKUTAA KUOTSUTORIINI;DANIERU BISONETSUTO;TAKAO SAKASE
分类号 C23C14/48;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/20 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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