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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09162186(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950317705 申请日期 1995.12.06
申请人 NEC CORP 发明人 SUGIYAMA SATOSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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