| 发明名称 |
Method and apparatus for inspecting or testing a sample by optical metrology |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9708651(D0) |
申请公布日期 |
1997.06.18 |
| 申请号 |
GB19970008651 |
申请日期 |
1997.04.30 |
| 申请人 |
BRITISH AEROSPACE PUBLIC LIMITED COMPANY |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B9/02;G01B9/025;G01J9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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