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发明名称 PRODUCTION OF SUBSTRATE PROVIDED WITH SILICA COATING FILM AND SUBSTRATE PROVIDED WITH SILICA COATING FILM PRODUCED THEREBY
摘要
申请公布号 JPH09157544(A) 申请公布日期 1997.06.17
申请号 JP19950344767 申请日期 1995.12.05
申请人 TONEN CORP 发明人 SHIMIZU YASUO
分类号 C03C17/30;C09D1/00;C09D183/00;C09D183/16;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C09D1/00 主分类号 C03C17/30
代理机构 代理人
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