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发明名称 Struktur mit integrierten Lichtwellenleiter und Spiegel und Verfahren zur Herstellung einer solchen Struktur
摘要
申请公布号 DE69309566(D1) 申请公布日期 1997.05.15
申请号 DE19936009566 申请日期 1993.07.20
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS, FR 发明人 MENIGAUX, LOUIS, F-91440 BURES SUR YVETTE, FR;CARENCO, ALAIN, F-92340 BOURG LA REINE, FR
分类号 H01L27/14;G02B6/12;G02B6/13;H01L31/0232;H01P3/16;(IPC1-7):G02B6/12 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
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